在真地面制备膜层，包含镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。固然化学汽相堆积也采纳减压、高压或等离子体等真空手腕，但一样平常真空镀膜是指用物理的办法堆积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
蒸发镀膜
经由过程加热蒸发某种物资使其堆积在固体外面，称为蒸发镀膜。这类办法由M.法拉第于1857年提出，当代已成为罕用镀膜技巧之一。
光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程.在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求.常用的镀膜法有真空镀膜和化学镀膜.蒸发涂层通常是加热目标,以使表面组分以自由基或离子的形式蒸发,并通过成膜方法(散射岛结构 - 梯形结构 - 层状生长)沉积在基材的表面上,薄膜.
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